六氟化钨（WF₆）常温常压下为无色、有刺激性气味的气体，具有强腐蚀性和毒性。其分子呈八面体形结构，化学性质活泼，遇水会剧烈水解，产生氢氟酸和钨酸。在工业领域，六氟化钨是重要的钨源材料，常用于化学气相沉积（CVD）工艺，制备半导体芯片中的钨薄膜，也可用于钨涂层的生产。因具强腐蚀性与毒性，储存和运输需采用特制的高压容器，并做好严格的防护措施，避免泄漏造成危害。