六氟乙烷，化学式为 C₂F₆，是无色无味、不可燃的气体。它化学性质稳定，沸点低至 – 78.2℃ 。主要用于半导体制造的蚀刻工艺，也可用作制冷剂和绝缘气体。不过，它是强效温室气体，对全球变暖的影响远高于二氧化碳，使用时需严格控制排放。储存运输要用高压钢瓶，置于阴凉通风处。